Short Communication

An original way to elaborate cermet thin films: cluster deposition

(Received 22 March 1994, received in final form 18 April 1994, accepted 26 April 1994)

Abstract
The development of the Low-Energy Cluster Beam Deposition (LECBD) technique represents a new way for the synthesis of cermets. Bi-SiO _x thin films have been produced by codéposition of neutral Bi clusters and SiO _x molécules. A Transmission Electron Microscopy study shows that these new cermets are formed by isolated grains whose size corresponds to that of the incident clusters. This work demonstrates the main assets of this technique: homogeneity of the films, narrow size distribution of the metallic inclusions and grain size control in the nanometric range.

Résumé
Le dépôt d'agrégats de faible énergie représente une nouvelle voie pour la synthèse de cermets. Des films minces de Bi-SiO _x., ont été produits par codéposition d'agrégats neutres de bismuth et de molécules de SiO _x. Une étude en microscopie électronique à transmission montre que ces nouveaux cermets sont constitués de grains dont la taille correspond à celle des agrégats dans le jet. Ce travail met en évidence les principaux atouts de cette technique de dépôt homogénéïté des films, étroite distribution de taille des inclusions métalliques et contrôle de la taille des grains dans le domaine nanomètrique.